中国芯片制造迈出一大步！中科院造出最强紫外超分辨光刻机

中科院光电所的 7 年探索

这台光刻机背后的研究机构是中科院光电所。

带头完成这项研发任务的，是中科院光电所所长、超分辨光刻装备项目首席科学家、中国科学院大学教授&博导罗先刚研究员。

罗先刚在光电领域的学术地位从他的一长串 title 中可见一斑：

微细加工光学技术国家重点实验室主任，国家 973 计划首席科学家，曾获 2016 年度国家技术发明一等奖，，2017 年中国工程院院士增选有效候选人，国家杰出青年科学基金获得者，中组部首批万人计划科技领军人才、2009 年“新世纪百千万人才工程”国家级人选，2004 年中科院“百人计划”入选者，中国光学学会、美国光学学会、国际光学工程学会、国际光电子与激光工程学会四大学会成员（Fellow）。

从 1995 年在中科院光电技术研究所读硕士开始，罗先刚已经从事光电领域 20 余年了，在中科院光电技术研究所读完硕士和博士后，他去了日本理化学研究所做博士后和研究科学家。

（编辑：网站开发网_安阳站长网）

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